1.流量的测量和控制不因温度或压力的波动而失准。
对于多(duō)数流量测控系统而言,很(hěn)难避免系统的压力波动及环境和介质的温度变化。对于普通的流量计,压力及温度的波动将导致较大的误差;对于质量流量计/质量流量控制器,则一般可(kě)以忽略不计。
2.测量控制的自动化
质量流量计/质量流量控制器可(kě)以将流量测量值以输出标准電(diàn)信号输出。这样很(hěn)容易实现对流量的数字显示、累积流量自动计量、数据自动记录、计算机管理(lǐ)等。对质量流量控制器而言,还可(kě)以实现流量的自动控制。通常,模拟的MFC/MFM输入输出信号為(wèi)0~+5V或4~20mA, 数字式MFC/MFM还配有(yǒu)RS232或RS485数字串行通讯口, 能(néng)非常方便地与计算机连接, 进行自动控制。
3.精确地定量控制流量
质量流量控制器可(kě)以精确地控制气體(tǐ)的给定量,这对很(hěn)多(duō)工艺过程的流量控制、对于不同气體(tǐ)的比例控制等特别有(yǒu)用(yòng)。
4.适用(yòng)范围宽
有(yǒu)很(hěn)宽的工作压力范围,我们的产品可(kě)以从真空直到10MPa; 可(kě)以适用(yòng)于多(duō)种气體(tǐ)介质(包括一些腐蚀性气體(tǐ),如HCL);有(yǒu)很(hěn)宽的流量范围,我们的产品最小(xiǎo)流量范围可(kě)达0~5 sccm,最大流量范围可(kě)达0~200 slm。流量显示的分(fēn)辨率可(kě)达满量程的0.1%, 流量控制范围是满量程的2~100% 量程比為(wèi)-- 50:1, 因此在很(hěn)多(duō)领域得到广泛应用(yòng)。